Micro e nanotecnologia
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Indice |
[modifica] Microtecnologia
[modifica] Introduzione alla microtecnologia
- Prima del transistor
- Il transistor e i dispositivi integrati
- La legge di Moore
- Microtecnologia: concetti di base
- L'ambiente: la camera pulita
[modifica] Il vuoto
[modifica] Tecniche litografiche
[modifica] Film sottili
[modifica] Processi successivi
[modifica] Etching
[modifica] Esempi
[modifica] Tecniche diagnostiche
[modifica] Nanotecnologia
[modifica] Introduzione alla nanotecnologia
[modifica] Approccio top-down
- Litografia elettronica: shadow mask, tilted evaporation
- Scansione a sonda (scanning probe)
- Stampa (nanoprint)
[modifica] Approccio bottom-up

