Micro e nanotecnologia

Microtecnologia

Introduzione alla microtecnologia

• Il transistor e i dispositivi integrati
• La legge di Moore
• Microtecnologia: concetti di base
• L'ambiente: la camera pulita

Il vuoto

• Le leggi del vuoto
• Pompe da vuoto
• Strumenti di misura per il vuoto

Il plasma

• Proprietà generali
• Fisica del plasma
• Scarica in dc
• Scarica a rf

Tecniche litografiche

• Litografia ottica
• Litografia elettronica
• Litografia a raggi X
• Litografia a fascio ionico

Film sottili

• Chemical Vapor Deposition (CVD)
• Sputtering
• Evaporazione
• Deposizione con cannone elettronico
• Molecular Beam Epitaxy (MBE)
• Deposizione di film dielettrici
• Film metallici

Processi successivi

• Ossidazione
• Impiantazione ionica
• Diffusione
• Planarizzazione

Etching

• Reactive Ion Etching (RIE)
• Sistemi ad alta densità di plasma
• Ion milling
• Wet etch
• Attacco a secco

Esempi

• Dispositivi MOS e CMOS
• Giunzioni Josephson
• MEMS
• Memorie magnetiche

Tecniche diagnostiche

• Microscopia
• Diffrazione a raggi X
• Interazione con fasci di elettroni

1. SEM
2. TEM

• Scanning probe

1. STM

Nanotecnologia

Introduzione alla nanotecnologia

• Cenni storici
• I due approcci: top-down, bottom-up

Approccio top-down

• Litografia elettronica: shadow mask, tilted evaporation
• Scansione a sonda (scanning probe)
• Stampa (nanoprint)

Approccio bottom-up

• Self-organizzazione

1. Film di Langmuir-Blodgett
2. Self-assembled monolayers (SAM)

• Strutture molecolari con carbonio

1. Fullerene C60
2. Nanotubi
3. Nanofili (nanowire)

1. AFM
2. SNOM