Micro e nanotecnologia/Microtecnologia/Il vuoto/Pompe da vuoto: differenze tra le versioni

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===Pompe da vuoto===
Per fare il vuoto, come anche per mantenerlo, è necessario avere dei dispositivi meccanici che asportino dalle camere da vuoto, attraverso delle condutture, il gas; tali dispositivi si chiamano pompe da vuoto.
asportino dalle camere da vuoto, attraverso delle condutture, il gas; tali dispositivi si chiamano
[[pompe da vuoto]].
 
Le [[pompe da vuoto]] possono essere catalogate in tre categorie:
 
* ''pompe a spostamento'' di parete: tali pompe usano un meccanismo meccanico per espandere
ciclicamente una cavità, permettono al gas di affluire dalla camera da vuoto, uno volta aspirato
la cavità viene sigillata, il gas compresso ed espulso verso l'atmosfera. Esempio di tali
pompe sono le rotative e le roots:
 
Le pompe rotative sono costituite da un rotore provvisto di palette mobili che ruota eccentricamente in uno statore. Le palette vengono tenute a contatto con la superficie interna dello statore da una molla e dalla forza centrifuga. Tra le palette e lo statore è sempre presente un velo d'olio come elemento di tenuta. La variazione di volume delle camere crea depressioni (fase di aspirazione) e compressioni dell'aria (fase di scarico). Nella fase di aspirazione il gas viene estratto dalla camera da vuoto tramite il manicotto di aspirazione, successivamente grazie all'eccentricità del rotore la camera continua ad aumentare di volume. Una volta raggiunto il volume massimo il manicotto di aspirazione viene chiuso da una seconda paletta mentre la camera della pompa comincia a diminuire di volume consentendo ai gas di essere espulsi dal manicotto di scarico.
Le pompe rotative raggiungono pressioni di <math>10^{-3}</math> mbar con una velocità di pompaggio di <math>200 m^3/h</math>.
Lo svantaggio di questo tipo di pompe è la presenza di olio che causa la contaminazione dell'aria presente nella camera da vuoto.
Soluzioni a questo problema sono l'utilizzo di pompe rotative a secco, che però hanno minore portata, e trappole ad azoto liquido connesse in serie alla pompa per bloccare i vapori d'olio.
 
Le pompe roots sono composte da una camera ovale in cui sono alloggiati due pistoni che si muovono in direzioni opposte. Questo tipo di pompe funziona senza olio quindi si evita la contaminazione dei gas, lo svantaggio è che a causa dell'attrito i pistoni non possono entrare in contatto tra di loro e con la parete esterna quindi in fase di progettazione si lascia tra i componenti uno spazio di circa 0.1 mm.
Le pompe roots possono raggiungere pressioni inferiori a <math>10^{-3}</math> mbar con una grande portata. A causa della scarsa tenuta, però, non è in grado di superare differenze di pressione troppo elevate per questo è sempre presente in serie una pompa rotativa.
 
* ''pompe a trasferimento di quantità di moto'', dette anche ''pompe molecolari'', tali pompe usano
jet di fluidi densi ad alta velocità o lame rotanti ad elevata velocità in maniera tale da imprimere
un grande impulso alle molecole di gas. Esempio di tali dispositivi sono le pompe a diffusione e le pompe turbomolecolari.
 
* ''pompe ad intrappolamento'' che catturano i gas residui in un solido o su una superficie
assorbente. Esempio sono le '''criopompe''', i '''getter''' e le '''pompe ioniche'''.
 
Le [[pompe da vuoto]] possono essere catalogate in tre categorie:
* ''pompe a spostamento'' di parete: tali pompe usano un meccanismo meccanico per espandere ciclicamente una cavità, permettono al gas di affluire dalla camera da vuoto, uno volta aspirato la cavità viene sigillata, il gas compresso ed espulso verso l'atmosfera. Esempio di tali ompe sono le rotative e le roots:
**Le pompe rotative sono costituite da un rotore provvisto di palette mobili che ruota eccentricamente in uno statore. Le palette vengono tenute a contatto con la superficie interna dello statore da una molla e dalla forza centrifuga. Tra le palette e lo statore è sempre presente un velo d'olio come elemento di tenuta. La variazione di volume delle camere crea depressioni (fase di aspirazione) e compressioni dell'aria (fase di scarico). Nella fase di aspirazione il gas viene estratto dalla camera da vuoto tramite il manicotto di aspirazione, successivamente grazie all'eccentricità del rotore la camera continua ad aumentare di volume. Una volta raggiunto il volume massimo il manicotto di aspirazione viene chiuso da una seconda paletta mentre la camera della pompa comincia a diminuire di volume consentendo ai gas di essere espulsi dal manicotto di scarico.<br/>Le pompe rotative raggiungono pressioni di <math>10^{-3}</math> mbar con una velocità di pompaggio di <math>200 m^3/h</math>.<br/>Lo svantaggio di questo tipo di pompe è la presenza di olio che causa la contaminazione dell'aria presente nella camera da vuoto. Soluzioni a questo problema sono l'utilizzo di pompe rotative a secco, che però hanno minore portata, e trappole ad azoto liquido connesse in serie alla pompa per bloccare i vapori d'olio.
**Le pompe roots sono composte da una camera ovale in cui sono alloggiati due pistoni che si muovono in direzioni opposte. Questo tipo di pompe funziona senza olio quindi si evita la contaminazione dei gas, lo svantaggio è che a causa dell'attrito i pistoni non possono entrare in contatto tra di loro e con la parete esterna quindi in fase di progettazione si lascia tra i componenti uno spazio di circa 0.1 mm.<br/>Le pompe roots possono raggiungere pressioni inferiori a <math>10^{-3}</math> mbar con una grande portata. A causa della scarsa tenuta, però, non è in grado di superare differenze di pressione troppo elevate per questo è sempre presente in serie una pompa rotativa.
* ''pompe a trasferimento di quantità di moto'', dette anche ''pompe molecolari'', tali pompe usano jet di fluidi densi ad alta velocità o lame rotanti ad elevata velocità in maniera tale da imprimere un grande impulso alle molecole di gas. Esempio di tali dispositivi sono le pompe a diffusione e le pompe turbomolecolari.
* ''pompe ad intrappolamento'' che catturano i gas residui in un solido o su una superficie assorbente. Esempio sono le '''criopompe''', i '''getter''' e le '''pompe ioniche'''.
 
[[Image:Rotary_lobe.png|thumb|300px|Sezione di una pompa roots; si vedono i lobi che ruotando comprimono il gas]]
[[Image:Cut_through_turbomolecular_pump.jpg |thumb|300px|Sezione di una pompa turbomolecolare]]
 
Le ''pompe a spostamento'' sono le più efficaci per i bassi vuoti, ma il riflusso all'indietro attraverso le guarnizioni metalliche generalmente limita l'utilità nelle applicazioni di alto vuoto.
le guarnizioni metalliche generalmente limita l'utilità nelle applicazioni di alto vuoto.
Per raggiungere condizioni di alto vuoto è necessario
disporre in serie una pompa a spostamento di parete con una pompa a trasferimento
di quantità di moto.
 
Per raggiungere condizioni di alto vuoto è necessario disporre in serie una pompa a spostamento di parete con una pompa a trasferimento di quantità di moto.
Le ''pompe a trasferimento di quantità di moto'' non possono funzionare in basso e medio vuoto, in quanto vanno in quello che in gergo aeronautico viene
chiamato [[w:Stallo|stallo]].Questo è un fenomeno relativo solitamente ai [[w:Profilo alare|profili alari]],come le alette delle pompe molecolari:considerando il flusso del gas che arriva sull'aletta grazie all'impulso dato,si presentano diverse forze su di essa;tra queste,si considera la forza che ha direzione perpendicolare alla direzione del moto del gas,denominata [[w:Portanza|portanza]] .Questa è esattamente perpendicolare ad un'altra forza ben conosciuta,chiamata resistenza,parallela alla direzione del moto del gas incidente.Si definisce stallo un calo della portanza.Ciò che causa stallo nel caso delle pompe può essere l'inclinazione di un'aletta provocata da una forza troppo grande applicata su di essa.Ricordando che la pressione è direttamente proporzionale alla forza,si giunge ad affermare che le pompe molecolari non possono lavorare in situazioni di medio e basso vuoto,perchè implicano necessariamente pressioni troppo alte tali da inclinare le alette,al limite romperle.Un esempio pratico della portanza è quella che agisce sull'ala di un aeroplano:proprio essa permette all'aereo di rimanere in volo;se il pilota dovesse compiere una brusca manovra,si avrebbe che questa non inciderebbe più sull'ala,facendo perdere quota all'aereo. Per questa ragione le pompe molecolari richiedono
una pompa a spostamento in serie che aspiri i gas in uscita in medio vuoto e li porti a pressione
leggermente inferiore a quella atmosferica.
 
Le ''pompe a trasferimento di quantità di moto'' non possono funzionare in basso e medio vuoto, in quanto vanno in quello che in gergo aeronautico viene chiamato [[w:Stallo|stallo]].Questo è un fenomeno relativo solitamente ai [[w:Profilo alare|profili alari]],come le alette delle pompe molecolari:considerando il flusso del gas che arriva sull'aletta grazie all'impulso dato,si presentano diverse forze su di essa;tra queste,si considera la forza che ha direzione perpendicolare alla direzione del moto del gas,denominata [[w:Portanza|portanza]] .Questa è esattamente perpendicolare ad un'altra forza ben conosciuta,chiamata resistenza,parallela alla direzione del moto del gas incidente.Si definisce stallo un calo della portanza.Ciò che causa stallo nel caso delle pompe può essere l'inclinazione di un'aletta provocata da una forza troppo grande applicata su di essa.Ricordando che la pressione è direttamente proporzionale alla forza,si giunge ad affermare che le pompe molecolari non possono lavorare in situazioni di medio e basso vuoto,perchèperché implicano necessariamente pressioni troppo alte tali da inclinare le alette,al limite romperle. Un esempio pratico della portanza è quella che agisce sull'ala di un aeroplano:proprio essa permette all'aereo di rimanere in volo;se il pilota dovesse compiere una brusca manovra,si avrebbe che questa non inciderebbe più sull'ala,facendo perdere quota all'aereo. Per questa ragione le pompe molecolari richiedono una pompa a spostamento in serie che aspiri i gas in uscita in medio vuoto e li porti a pressione leggermente inferiore a quella atmosferica.
Le ''pompe ad intrappolamento'' sono usati nei sistemi di ultra alto vuoto, ma hanno una limitazione nel tempo di operazione in quanto la materia non viene
asportata dalla camera da vuoto durante il funzionamento, ma accumulata.
Quindi tali pompe periodicamente saturano e richiedono la rigenerazione, che può portare il sistema di nuovo ad alta pressione e temperatura (se si tratta di pompe criogeniche). Poiché il tempo di operazione
dipende dalla quantità totale di materia aspirata, utilizzare le pompe ad assorbimento in alto
vuoto è assolutamente sconsigliabile, in quanto riduce ad un valore inaccettabile il tempo di operatività. Le pompe da vuoto differiscono in altri dettagli quali i materiali delle guarnizione, le tolleranze, le pressioni di operazione, la velocità di aspirazione, affidabilità, intervallo
di tempo tra interventi tecnici, tolleranza ai liquidi e vibrazioni.
 
Le ''pompe ad intrappolamento'' sono usati nei sistemi di ultra alto vuoto, ma hanno una limitazione nel tempo di operazione in quanto la materia non viene asportata dalla camera da vuoto durante il funzionamento, ma accumulata. Quindi tali pompe periodicamente saturano e richiedono la rigenerazione, che può portare il sistema di nuovo ad alta pressione e temperatura (se si tratta di pompe criogeniche). Poiché il tempo di operazione dipende dalla quantità totale di materia aspirata, utilizzare le pompe ad assorbimento in alto vuoto è assolutamente sconsigliabile, in quanto riduce ad un valore inaccettabile il tempo di operatività. Le pompe da vuoto differiscono in altri dettagli quali i materiali delle guarnizione, le tolleranze, le pressioni di operazione, la velocità di aspirazione, affidabilità, intervallo di tempo tra interventi tecnici, tolleranza ai liquidi e vibrazioni.
 
Caratteristiche specifiche delle pompe sono:
 
 
* '''La velocità di pompaggio''' riguarda al volume che fluisce nell'ingresso nell'unità di tempo come unità di misura si usano litri al secondo o metri cubi all'ora. A causa della compressione, il volume che fluisce all'uscita è molto inferiore a quello dell'ingresso. Le pompe a trasferimento di quantità di moto sono più efficaci per alcuni gas che per altri. A causa di tale selettività la composizione del gas residuo nella camera da vuoto è diversa dalla composizione dei gas di partenza.
 
* '''La portata''' indica la quantità di materia portata via nell'unità di tempo, ed è data dal prodotto della velocità di pompaggio per la pressione all'ingresso. Se la temperatura è costante valendo l'equazione di stato dei gas perfetti, tale grandezza è pari alla quantità di materia portata via dalla pompa nell'unità di tempo. Quando si parla di buchi, degassamento o riflusso indietro, si misurano in unità del volume entrante moltiplicato la pressione a cui il fenomeno avviene, in maniera tale che il confronto con la portata è facilmente calcolabile.
 
Le pompe a spostamento di parete e quelle a trasferimento di quantità di moto hanno praticamente una velocità di pompaggio indipendente dalla pressione. Ma al diminuire della pressione della camera da vuoto, il volume aspirato contiene sempre meno quantità di materia, per questa ragione la portata diminuisce rapidamente. Al contempo i buchi, l'evaporazione, la sublimazione e il riflusso indietro producono una quantità di materia immessa nella camera indipendente dalla pressione. Quindi quando la portata della pompa (tenendo conto della riduzione dovuta alla conduttanza delle tubazioni di interconnessione) diviene pari alla quantità di materia che si immette nella camera, il sistema si porta asintoticamente ad una pressione di equilibrio dinamico detto di vuoto limite.
 
Si definisce ''degassamento'' la evaporazione o sublimazione all'interno della camera da vuoto; la sorgente più comune di degassamento è l'acqua assorbita dai materiali della camera da vuoto. Se la causa principale di immissione di materia nella camera sono buchi o degassamento, l'utilizzo di pompe di maggiore velocità di pompaggio può migliorare la qualità del vuoto. Tuttavia, vi è un vuoto per cui il riflusso indietro attraverso le pompe o il degassamento dell'olio delle pompe (le pompe a secco non hanno problemi connessi con l'olio) diventa il meccanismo di immissione di materia. In questo caso, il vuoto raggiungerà il vuoto limite della pompa, cioè il vuoto migliore con la pompa in condizioni ideali. Aumentare la velocità di pompaggio ad esempio mettendo più pompe in parallelo non cambia tale vuoto limite, che può essere migliorato usando pompe di tecnologia diversa.
Si definisce ''degassamento'' la evaporazione o sublimazione all'interno della camera da vuoto; la
sorgente più comune di degassamento è l'acqua assorbita dai materiali della camera da vuoto.
Se la causa principale di immissione di materia nella camera sono buchi o degassamento, l'utilizzo
di pompe di maggiore velocità di pompaggio può migliorare la qualità del vuoto.
Tuttavia, vi è un vuoto per cui il riflusso indietro attraverso le pompe o il degassamento dell'olio
delle pompe (le pompe a secco non hanno problemi connessi con l'olio) diventa il meccanismo di immissione di materia. In questo caso, il vuoto raggiungerà il
vuoto limite della pompa, cioè il vuoto migliore con la pompa in condizioni ideali. Aumentare
la velocità di pompaggio ad esempio mettendo più pompe in parallelo non cambia tale vuoto limite,
che può essere migliorato usando pompe di tecnologia diversa.
 
=== Pompa a membrana ===
 
E'È detta anche a diaframma, in cui la variazione di volume è data dall'oscillazione di una membrana che chiude un lato di una camera. Il vantaggio di questa soluzione è l'assoluta impermeabilità ottenuta con l'eliminazione dello scorrimento tra parti.
 
Caratteristiche fondamentali della pompa a membrana:
1)# Hanno bassa velocità
 
2)# Sono senza olio
1) Hanno bassa velocità
3)# Hanno una membrana in gomma
 
4)# Possiedono una pompa primaria
2) Sono senza olio
 
3) Hanno una membrana in gomma
 
4) Possiedono una pompa primaria
 
La figura di seguito, ne mostra il funzionamento:
 
[[Immagine:Pompamembrana.jpg|center||thumb|350px|Schema di una pompa a membrana]]
 
 
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