Micro e nanotecnologia/Microtecnologia/Tecniche litografiche/Litografia a fascio ionico: differenze tra le versioni

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(Nuova pagina: La litografia a fascio ionico è simile alla litografia elettronica, ma utilizza ioni invece che elettroni. Un grande vantaggio presentato dalla tecnica IPL (ions photolitography) risp…)
 
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- è una tecnica molto lenta rispetto alla litografia ottica
 
I motivi sopra elencati portano a scartare la IPL per i processi di produzione su larga scala, questa tecnica però, trova la sua applicazione nella riparazione delle maschere per la litografia ottica o a raggi-X.
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