File:Variable shaped beam.JPG
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attuale | 17:02, 21 apr 2007 | 1 349 × 1 210 (130 KB) | EdC | {{Information |Description=Variable Shaped beam sketch: The example of the "FEPG" e-beam lithography machine. |Source=Archives CAMECA |Date=1982 |Author=Emmanuel de Chambost |Permission=Cameca |other_versions= }} == Licensing == |
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