File:Wafer flats convention v2.svg

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Descrizione

Wafer flats convention, based on Image:Wafer flats convention.PNG

Conventional meaning of flats in semiconductor wafers. Red denotes material that has been removed.

Wafer orientation is the orientation of the crystallographic plane in which the crystal grew. Wafer type indicated the type of doping.
Primary flat - indicates crystallographic planes of high symmetry (usually the {110} face).
Secondary flat - it's position relative to Primary flat or it's absence is indicating the doping type and the orientation of wafer.

  • Absence - p {111}
  • 90° - p {100}
  • 180° - n {100}
  • 45° - n {111}
Wafers under 200mm generally have flats indicating crystallographic planes of high symmetry (usually the {110} face) and, in old-fashined wafers (those below about 100mm diameter), the wafer's orientation and doping type. Modern wafers use a notch to convey this information, in order to waste less material. Orientation is important for wafer cleavage, and can affect other structural and electronic properties as well.
Data
Fonte

self-made,

 
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Autore Twisp
Altre versioni Wafer flats convention.PNG

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attuale23:40, 24 set 2013Miniatura della versione delle 23:40, 24 set 2013150 × 150 (13 KB)Cepheidenfixed position of secondary flat Silicon processing for the VLSI era - Vol. 1 - Process technology; S Wolf; RN Tauber - Lattice Press; 1986; ISBN 096167237; p. 23
02:37, 23 dic 2008Miniatura della versione delle 02:37, 23 dic 2008150 × 150 (13 KB)InductiveloadAdded arrow indication <110> direction and enlarged flats so they can be easily seen
23:17, 29 feb 2008Miniatura della versione delle 23:17, 29 feb 2008150 × 150 (9 KB)Twisp
23:13, 29 feb 2008Miniatura della versione delle 23:13, 29 feb 2008150 × 150 (9 KB)Twisp
23:06, 29 feb 2008Miniatura della versione delle 23:06, 29 feb 2008150 × 150 (8 KB)Twisp
22:59, 29 feb 2008Miniatura della versione delle 22:59, 29 feb 2008150 × 150 (8 KB)Twisp
20:09, 29 feb 2008Miniatura della versione delle 20:09, 29 feb 2008150 × 150 (9 KB)Twisp{{Information |Description= Wafer flats convention, based on Image:Wafer flats convention.PNG Conventional meaning of ''flats'' in semiconductor wafers. Black denotes material that has been removed. Wafer orientation is

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