Micro e nanotecnologia
Aspetto
- Il transistor e i dispositivi integrati
- La legge di Moore
- Microtecnologia: concetti di base
- L'ambiente: la camera pulita
- Chemical Vapor Deposition (CVD)
- Sputtering
- Evaporazione
- Deposizione con cannone elettronico
- Molecular Beam Epitaxy (MBE)
- Deposizione di film dielettrici
- Film metallici
- Litografia elettronica: shadow mask, tilted evaporation
- Scansione a sonda (scanning probe)
- Stampa (nanoprint)