Micro e nanotecnologia/Microtecnologia/Tecniche litografiche

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La litografia è un processo di fabbricazione di dispositivi a semiconduttore, che include tutti i processi che sagomano o alterano le forme preesistenti sul materiale depositato. Per esempio, nella litografia convenzionale, il wafer viene ricoperto tramite rivestimento per rotazione con una sostanza chimica fotosensibile detta photoresist. Il photoresist viene esposto mediante delle macchine opportune, mask-aligner o stepper, che allineano delle maschere (in genere di quarzo), focalizzano la radiazione ed espongono il photoresist ad una radiazione (soprattutto quella ultravioletta, nelle camere a raggi ultravioletti) di lunghezza d'onda opportuna. La regione non esposta viene rimossa dalla soluzione di sviluppo. Dopo etching ed altri possibili processi, il restante photoresist viene rimosso a secco mediante incenerimento in plasma o più semplicemente dissolvendolo in un opportuno solvente. Queste tecniche sono molto utilizzate nella scienza e nell'industria oltre che per la produzione di dispositivi a semiconduttore, anche nell'industria dei circuiti stampati, CD, DVD ecc. Verranno descritte quindi le varie tecniche litografiche attualmente utilizzate.