Micro e nanotecnologia

Microtecnologia

Introduzione alla microtecnologia

• Il transistor e i dispositivi integrati
• La legge di Moore
• Microtecnologia: concetti di base
• L'ambiente: la camera pulita

Il vuoto

• Le leggi del vuoto
• Pompe da vuoto
• Strumenti di misura per il vuoto

Il plasma

• Proprietà generali
• Fisica del plasma
• Scarica in dc
• Scarica a rf

Tecniche litografiche

• Litografia ottica
• Litografia elettronica
• Litografia a raggi X
• Litografia a fascio ionico

Film sottili

• Chemical Vapor Deposition (CVD)
• Sputtering
• Evaporazione
• Deposizione con cannone elettronico
• Molecular Beam Epitaxy (MBE)
• Film dielettrici
• Film metallici

Processi successivi

• Ossidazione
• Impiantazione ionica
• Diffusione
• Planarizzazione

Etching

• Wet etching
• Dry etching
• Ion milling

Esempi

• Dispositivi MOS e CMOS
• Giunzioni Josephson
• MEMS
• Memorie magnetiche

Tecniche diagnostiche

• Microscopia Ottica
• Diffrazione a raggi X
• SEM
• TEM
• STM
• AFM
• SNOM

Nanotecnologia

Approccio top-down

• Scanning probe lithography
• Nanoprint

Approccio bottom-up

• Self-organizzazione
• Strutture molecolari con carbonio