Micro e nanotecnologia
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Microtecnologia[modifica]
Introduzione alla microtecnologia[modifica]
- Il transistor e i dispositivi integrati
- La legge di Moore
- Microtecnologia: concetti di base
- L'ambiente: la camera pulita
Crescita dei cristalli[modifica]
Il vuoto[modifica]
Il plasma[modifica]
Tecniche litografiche[modifica]
Film sottili[modifica]
- Chemical Vapor Deposition (CVD)
- Sputtering
- Evaporazione
- Deposizione con cannone elettronico
- Molecular Beam Epitaxy (MBE)
- Deposizione di film dielettrici
- Film metallici
Processi successivi[modifica]
Etching[modifica]
Esempi[modifica]
Tecniche diagnostiche[modifica]
Statistica per tecnologia[modifica]
Nanotecnologia[modifica]
Introduzione alla nanotecnologia[modifica]
Approccio top-down[modifica]
- Litografia elettronica: shadow mask, tilted evaporation
- Scansione a sonda (scanning probe)
- Stampa (nanoprint)
Approccio bottom-up[modifica]