Micro e nanotecnologia

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Microtecnologia[modifica]

Introduzione alla microtecnologia[modifica]

Crescita dei cristalli[modifica]

Il vuoto[modifica]

Il plasma[modifica]

Tecniche litografiche[modifica]

Film sottili[modifica]

Processi successivi[modifica]

Etching[modifica]

Esempi[modifica]

Tecniche diagnostiche[modifica]

  1. SEM
  2. TEM
  1. STM

Statistica per tecnologia[modifica]

Nanotecnologia[modifica]

Introduzione alla nanotecnologia[modifica]

Approccio top-down[modifica]

Approccio bottom-up[modifica]

  1. Film di Langmuir-Blodgett
  2. Self-assembled monolayers (SAM)
  1. Fullerene C60
  2. Nanotubi
  3. Nanofili (nanowire)
  1. AFM
  2. SNOM