Micro e nanotecnologia/Nanotecnologia/Introduzione alla nanotecnologia
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Indice del libro
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- Introduzione alla microtecnologia
- Crescita dei cristalli
- Il vuoto
- Il plasma
- Tecniche litografiche
- Film sottili
- Processi successivi
- Etching
- Esempi
- Tecniche diagnostiche
- Statistica per tecnologia